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無塵潔凈室(Clean Room),也被稱為無塵室、潔凈室或無塵車間。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無塵潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面,無塵潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。
無塵潔凈室是利用HEPA、空氣凈化設(shè)備,其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多,因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。無塵潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù),一直是潔凈室設(shè)計中受到關(guān)注的問題,隨著潔凈室污染源的控制效果增加及末級過濾器效率的提高等,對有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等提 出的推薦或參考值是否偏于保守,已有不少討論;FFU在應(yīng)用中人們擔(dān)心的噪音、損壞維修等問題已在實踐中得到解決,隨著FFU的不斷改進,對是否采用 FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是個熱點:懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業(yè)中已日益提到日程上來,受到關(guān)注。
無塵潔凈室內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定,隨潔凈室用途等具體情況而異,它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過濾器效率還受其他因素影響,就工業(yè)潔凈室而言,影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是:
(1)室內(nèi)污染源:建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源,根據(jù)具體情況而異,變化很大;
(2)室內(nèi)氣流流型及分布:單向流要求均勻、平等的流線,但會受到工藝設(shè)備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合,避免死角及溫度分層。
鄭州瑞之森凈化裝飾工程有限公司是專業(yè)的無塵潔凈室施工單位,專注凈化工程10年,值得信賴。